光と物質の相互作用,およびそれを応用した微細加工の研究を行っています. 特に波長が 10 nm 前後の光 (極端紫外光, 軟X線) により直接材料を加工する研究を中心に行っています. 極微量化学分析デバイス, 極微量化学合成デバイスを作製する実用的な加工法として期待できます. これにより, バイオテクノロジー, 化学の分野に貢献できると期待できます.
シリカガラス (組成がSiO2ガラスで合成石英ガラスとも呼ばれる.) の場合には, 表面に 50 nm の溝を作製できることを示してきました. また, PDMS (ポリジメチルシロキサン), PMMA (ポリメタクリル酸メチル) などをマイクロメートルのオーダーで微細に加工できることを示しています.