成 果 発 表
論文
- S. Torii, T. Fujimori, T. Makimura, H. Niino, and K.
Murakami,
"Ablation Process of Silica Glass Induced by Laser Plasma Soft X Ray
Irradiation,"
Applied Surface Science, 255,9840-9842
(2009). http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2009.04.102
-
鳥居周一, 藤森隆成, 牧村哲也, 新納弘之, 村上浩一「ナノ加工を目指したレーザープラズマ軟X線
によるシリカガラスの非熱的アブレーションプロセスの探索」電気学会論文誌C(IEEJ Trans. EIS), Vol.129,
No.7,(2009)(査読有)
- "Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials
Using
Laser Plasma Soft X-Rays," Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi
Uchida, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami, Journal of Physics:
Conference Series 59,
279-284 (2007). http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/59/1/058
- Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami,
Hiroyuki Niino, "Silica nanomachining using laser plasma soft x rays,"
Applied Physics Letters, 89,
101118 (2006). http://dx.doi.org/10.1063/1.2347117
- Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Youichi Kenmotsu, and
Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino, "Direct micromachining of quartz
glass plates using pulsed laser plasma soft x-rays," Applied Physics
Letters, 86,
103111 (2005). http://dx.doi.org/10.1063/1.1882750
- Tetsuya Makimura, Shinjo Mitani, Youichi
Kenmotsu, Kouichi Murakami, Michiaki Mori, and Kiminori Kondo, "Quartz
micrimachining using laser plasma soft x rays and ultraviolet laser
light," Applied Physics Letters, 85, 1274 (2004).
http://dx.doi.org/10.1063/1.1782265
学会発表
- 大学院生の鳥居君が優秀論文発表賞を
受賞しました.
平成20年度 電気学会 電子・情報・システム部門大会(公立はこだて未来大学, 2008
8/20-8/22)「レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション過程」鳥居周一, 藤森隆成, 牧村哲也, 新納弘之, 村上浩一.
- 招待講演 Tetsuya Makimura et al, 2010 International High-Power
Laser Ablation Conference, April 18-22, 2010. (予定)
http://www.usasymposium.com/hpla/
- 招待講演 COST (European COoperation
in the
field of Scientific
and Technical
Research; http://www.shortwavelengthsources.net/)
MP601 Meeting, Dublin, May 2010. (予定)
- 「TEA CO2
レーザー光と金属マスクのフレネル回折を利用したSiO2
の微細加工」岡崎功太1,鳥居周一2,遠矢和勇騎3,蔦浩司3,牧村哲也2,新納弘之4,村上浩一2,中村大輔3,高橋昭彦1,岡田龍雄3,
九大医学研究院1, 筑波大学電子・物理工学2, 九大シス情3, 産総研光技術4, 応用物理学会九州支部大会
(2009年11月21日〜11月22日, 熊本大学 黒髪南地区キャンパス).
- 招待講演 Tetsuya Makimura, Shuichi Torii, Hiroyuki Niino,
Kouichi Murakami, "Nano- and micromachining of transparent materials
using laser plasma soft X-Rays,"
CLEO/Pacific Rim 2009, Shanghai, August 30-September 3,
2009. http://www.siom.cn/cleo/
- 招待講演 Tetsuya Makimura, Shuichi Torii, Hiroyuki Niino,
Kouichi Murakami,
"Silica nano-ablation using laser plasma soft x-rays," SPIE Europe,
Optics and Optoelectronics 2009, April 20-23, 2009. Prague(プラハ).
Proceedings of SPIE, vol. 7361,
7361B (2009). http://dx.doi.org/10.1117/12.822289
- "Ablation
process of silica glass induced by laser plasma soft X-ray
irradiation," Shuichi Torii, Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura,
Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami, The 6th International Conference
onPhoto-Excited Processes and Applications (Royton Sapporo, September 8-12, 2008) P-28.
- 招待講演 Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Satoshi Uchida,
Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino,
"Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays,"
SPIE Europe Optics and Optoelectronics 2007. April 18, 2007. Prague,
Czech Republic. Proceedings of SPIE, vol.6586, 658609 (2007).
http://dx.doi.org/10.1117/12.723799
- 「CO2レーザー生成プラズマEUV光による透明材料の微細加工」○高橋昭彦,
鳥居周一A,牧村哲也A,新納弘之C,
村上浩一A,岡崎功太,秋山智哉B,中村大輔B,
岡田龍雄B,(九州大学医学研究院,A筑波大学大学院数理物質科学研究科,B九
州大学システム情報研究院, C産業技術総合研究所光技術研究部門レーザー精密プロセスグループ)
レーザー学会学術講演会 第29回年次大会, 10pIV-10 徳島大学, 2009年1月10日から1月12日
- 〇中井直史1,宇野秀隆2,
張振龍1,手老龍吾2,鈴井光一2,
寺岡有殿3,吉越章隆3,牧村哲也4,
村上浩一4,宇理須恒雄1, 21総研大,2分子研,
3原研, 4筑波大
「XeF2を用いた放射光高速エッチングビームラインの設計と製作」
第19回日本放射光学会年会 放射光科学合同シンポジウム 9P006M 名古屋大学 2006年1月7日〜1月9日.
http://www.jssrr.jp/nenkai19/
- ○畠賢治*,**、牧村哲也*、木村知彦*,**、村上浩一*、重川秀実*,**,***(*筑波大物工、**CREST、
*** 東大工)「シリコンナノパーティクルの励起状態を実空間で観察する」MRS-J シンポジウム[2-4-N12]
解説
著書