山部　紀久夫 連絡先 Email:yamabeesys.tsukuba.ac.jp 電話とFAX: 029-853-6475 事務室FAX: 029-853-5205 居室: 第三学群Ｍ棟　"3M107" Office hours: Mon-Fri 09:00-17:00  実験室: 第三学群Ｍ棟3M111　("6937")

	担当講義 応用理工・工学基礎学類（担当授業名） 　：集積化プロセス工学 　：電子・量子工学専攻実験 大学院（担当授業名） 　数理物質科学研究科（電子・物理工学専攻） 　：集積回路物質工学
	研究分野 　：シリコン 　：ナノワイヤ 　：極薄膜絶縁膜
	研究概要 　：シリコン単結晶表面の原子構造制御 　：金属ナノワイヤによる新機能の創出 　：極薄絶縁膜の高信頼化と新機能創出