筑波大学牧村研究室

光でガラスを彫る

光と物質の相互作用，およびそれを応用した微細加工の研究を行っています. 特に波長が 10 nm 前後の光 (極端紫外光, 軟X線) により直接材料を加工する研究を中心に行っています. 極微量化学分析デバイス, 極微量化学合成デバイスを作製する実用的な加工法として期待できます. これにより, バイオテクノロジー, 化学の分野に貢献できると期待できます.

シリカガラス (組成がSiO₂ガラスで合成石英ガラスとも呼ばれる.) の場合には, 表面に 50 nm の溝を作製できることを示してきました. また, PDMS (ポリジメチルシロキサン), PMMA (ポリメタクリル酸メチル) などをマイクロメートルのオーダーで微細に加工できることを示しています.

連絡先

牧村哲也
筑波大学理工学群応用理工学類電子・量子主専攻
筑波大学大学院数理物質科学研究科電子・物理工学専攻
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