超音速原子・分子線散乱

  超音速原子・分子線散(Supersonic Atomic/Molecular Beam Scattering;MBS)とは、高圧にした中性分子（HeやArなどの希ガス）を先に小さな穴が開いたノズルに通し、その先の高真空中に放出することで得られます。
  分子線の測定方法は、ノズルから放出した分子線を計測対象のサンプル基板に当て、散乱された分子を検出器で計測することで行います。
  このようにして得られた分子線は、それぞれの分子の速度がよくそろっています。また、化学反応を起こしにくい希ガスを用いているので、表面を破壊したり、表面原子と反応を起こすことなく計測ができます。
この計測方法は世界的にも珍しく、興味深いデータを出してくれます。