筑波大学理工学情報生命学術院数理物質科学研究群　藤田研究室

筑波大学　理工学情報生命学術院数理物質科学研究群
電子・物理工学専攻　藤田・伊藤研究室

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研究室設備

藤田・伊藤研究室の主要装置群を紹介します。

高分解能透過電子顕微鏡　（日本電子　JEM-2100）
３階設置にもかかわらず、格子分解能1.4Åを達成しています。 Noran-EDSを備え、装置合成した材料の原子格子レベルでの評価、分析を行います。今日のTEMはCCD撮像素子を用いてTEM画像を撮影します。このために蛍光灯の下で、短時間で高分解画像を取得する事が可能です。

電界放出形透過電子顕微鏡　（日立ハイテク　HF5000）
このHF5000はTEM像だけでなく、SEM像、STEM像も取得可能です。加速電圧200kVでのTEMの格子分解能は1.02Å、STEMの分解能は78 pmを達成しています。

原子間力顕微鏡　（日立ハイテク　AFM-5200S）
このAFM-5200Sは大気中および液中でも測定でき、高分解能かつ高精度に測定できます。

半導体パラメータ・アナライザ(Keysight B1500A)
電気特性評価を行う上で業界標準とされる万能装置です。様々なデバイスの特性評価を行うことができます。

電子ビーム描画装置　
SE電子銃による安定したエミッションを利用して高分解能な素子パターンニングを行い、ナノデバイスを作成します。

高分解能走査電子顕微鏡　(Hitachi S4800)
Kleindike　ナノマニピュレータ３基を装備してナノ構造体の操作、合成を行います。

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡　（日本電子　JSM-7200F）
ショットキー効果を利用した電子銃を使って電子を放出しています。

ラマン顕微鏡（Renishaw）
グラフェンやカーボンナノチューブの振動モードを検出して材料の同定を行います。マッピング機能を搭載しており空間分布などの解析も行えます。世界で一番売れている機種です。

WestBond製ワイヤボンダデー
作成したデバイスチップを金ワイヤーでLSIディップパッケージへのマウントします。

マスクアライナー
光学露光によって、デバイスチップの目視レベルの電極パターンを形成します。大気中のホコリと紫外線を避けるために、イエローカーテンの中は、Class10000レベル以下の非常にクリーンな環境に保たれています。

化学気相蒸着装置（自作）
3次元グラフェン、カーボンナノチューブ、2次元グラフェンや単層材料(MoS2)などの合成が出来ます。当研究室の主力装置の一つです。同様の装置が8台稼動しています。修士以上の学生に対して一人一台の割り当てです。

真空型グローブボックス(Unico)
アルゴン雰囲気下（酸素と水が無い状態）で作業が出来ます。

電気化学測定装置(Unico)
電池特性、電極反応、腐食、スーパーキャパシタなどの高品質な電気化学測定ができます。この装置でほぼ全ての電気化学測定が可能です。
修士以上の学生に対して一人１ｃｈの割り当てです。

ボックス型電気炉(Unico)
電気炉の汎用装置です。1000度まで加熱できます。オートクレーブを用いた水熱合成にも使います。

ドラフト(Unico)
化学物質はこの中で扱います。

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