筑波大学 大学院数理物質科学研究科
電子・物理工学専攻 藤田・伊藤研究室
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体験教室
藤田・伊藤研では高校生、中学生を対象とした体験教室を次の2テーマで実施しております。 理科の苦手な方、初心者の方でも充分に楽しめるテーマです。是非御参加下さい。

・テーマ1:走査電子顕微鏡を用いたミクロ世界の観察実習

・テーマ2:マイクロリソグラフィ技術を体験する


走査電子顕微鏡を用いたミクロ世界の観察実習

 普段にはなにげなく見過ごしてしまっている身の回りの物、髪の毛、花粉、などなど、しかし電子顕微鏡を通してみると全く異なった姿が見えてきます。このテーマでは、プラズマスエッチングやスパッタコーティングなどの観察前の試料の調整から、実際に電子顕微鏡の操作・観察・撮影までを、そのプロセス一通りを各自が体験実習して、自然界をミクロの視野で観察します。髪の毛のキューティクルの一枚一枚、枝毛となった亀裂の中で荒れ果てしまったフィブリン繊維、いかにもとげとげいひまわりの花粉は何の影響もないのですが、あのアレルギーの根源たる杉花粉は何の特徴もなくぬめっとした様子など、いつも歓声と感動がわき起こる楽しいテーマです。



図1 体験学習の様子 (左上:SEM装置、右上:うまく見えるかな? 左下:キューティクル、 右下:ひまわりの花粉)


マイクロリソグラフィ技術を体験する

 青写真をご存じでしょうか。昔のコピーは、感光紙に原稿を重ねて光を当てて複写していました。原稿の白い部分は光を透過します。光に感光した部分は現像で色が抜けますが、光に感光しなかった部分(文字や線の部分)は青く着色されて複写されます。この原理は今日の超LSIの製造現場でもそのまま使われています。この実習では、光学露光機を用いて、皆さんの顔写真をガラス基板の上に作成する技術を体験します。光に感光する有機レジストをガラス基板に塗布し、顔写真を縮小印刷したOPHフィルムを原板にしてレジストに転写します。これを現像・エッチングするとガラス基板に顔写真を彫り込む事ができます。紫外線ランプの光の中で、どのようにミクロのパターンが形成されていくのかが実感できます。



図2 体験学習の様子 (左上:光学露光装置、右上:出来上がりを確認 左下:先輩にレクチャーを受けて、 右下:完成したガラス基板)


最後に全員でパチリ。
2006年3月30日 新発田高校の皆さん。ご苦労さまでした。