筑波大学理工学情報生命学術院数理物質科学研究群　藤田研究室

筑波大学　理工学情報生命学術院数理物質科学研究群
電子・物理工学専攻　藤田・伊藤研究室

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体験教室

藤田・伊藤研では高校生、中学生を対象とした体験教室を次の２テーマで実施しております。理科の苦手な方、初心者の方でも充分に楽しめるテーマです。是非御参加下さい。

・テーマ１：走査電子顕微鏡を用いたミクロ世界の観察実習

・テーマ２：マイクロリソグラフィ技術を体験する

走査電子顕微鏡を用いたミクロ世界の観察実習

　普段にはなにげなく見過ごしてしまっている身の回りの物、髪の毛、花粉、などなど、しかし電子顕微鏡を通してみると全く異なった姿が見えてきます。このテーマでは、プラズマスエッチングやスパッタコーティングなどの観察前の試料の調整から、実際に電子顕微鏡の操作・観察・撮影までを、そのプロセス一通りを各自が体験実習して、自然界をミクロの視野で観察します。髪の毛のキューティクルの一枚一枚、枝毛となった亀裂の中で荒れ果てしまったフィブリン繊維、いかにもとげとげいひまわりの花粉は何の影響もないのですが、あのアレルギーの根源たる杉花粉は何の特徴もなくぬめっとした様子など、いつも歓声と感動がわき起こる楽しいテーマです。

図１　体験学習の様子　（左上：ＳＥＭ装置、右上：うまく見えるかな？　左下：キューティクル、　右下：ひまわりの花粉）

マイクロリソグラフィ技術を体験する

　青写真をご存じでしょうか。昔のコピーは、感光紙に原稿を重ねて光を当てて複写していました。原稿の白い部分は光を透過します。光に感光した部分は現像で色が抜けますが、光に感光しなかった部分（文字や線の部分）は青く着色されて複写されます。この原理は今日の超ＬＳＩの製造現場でもそのまま使われています。この実習では、光学露光機を用いて、皆さんの顔写真をガラス基板の上に作成する技術を体験します。光に感光する有機レジストをガラス基板に塗布し、顔写真を縮小印刷したＯＰＨフィルムを原板にしてレジストに転写します。これを現像・エッチングするとガラス基板に顔写真を彫り込む事ができます。紫外線ランプの光の中で、どのようにミクロのパターンが形成されていくのかが実感できます。

図２　体験学習の様子　（左上：光学露光装置、右上：出来上がりを確認　左下：先輩にレクチャーを受けて、　右下：完成したガラス基板）

最後に全員でパチリ。
２００６年３月３０日　新発田高校の皆さん。ご苦労さまでした。

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