結晶成長装置 (MBE chambers and RF sputtering for thin-film growth)

BaSi2系分子線エピタキシー装置 窒化物系分子線エピタキシー装置 BaSi2系分子線エピタキシー装置 Fe-Si系分子線エピタキシー装置 RFマグネトロンスパッタ装置 ヘリコン波スパッタ装置 RFマグネトロンスパッタ装置

X線回折装置 (X-ray diffraction)

X線回折装置

光学特性評価装置 (Equipments for optical characterizations)

ルミネッセンス測定装置(温度可変 EL, PL, TR-PL, 吸収) (Equipments for PL, TR-PL, and EL 分光感度測定装置 (Equipment for photoresponse properties)

電気特性評価装置 (Equipments for electrical characterizations)

温度可変 I-V, C-V, Hall測定, DLTS 原子間力顕微鏡 (AFM, KFM, MFM) マイクロプローバ

高温加熱装置(アニール炉)(Furnaces for conventional and rapid thermal annealing)

アニール炉 RTA炉